TY  - CONF
A1  - Doppalapudi, D 
A1  - Mlcak, R 
A1  - Chan, J 
A1  - Tuller, H 
A1  - Abell, J 
A1  - Li, W 
A1  - Moustakas, T 
T1  - Sensors based on SiC-AlN MEMS.
Y1  - 2004//
N1  - EPD04014
ER  -